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其工作原理為，線接入電路中有定的順序，如線頭接錯了，風機會反轉(zhuǎn)，這時聲音正?；蛏圆徽＃瑑襞_正面無風（可用酒精燈火焰觀察動靜，不宜久試），應(yīng)及時切斷電源，只將其中兩相的線頭交換下位置再接上，就可解決。

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按后級空氣過濾器的級別進行分類，可分為空氣過濾器潔凈工作臺和超空氣過濾器潔凈工作臺，對于非單向流潔凈工作臺而言，風量是其重要的性能，JG/T-《潔凈工作臺》中給出了潔凈工作臺換氣次數(shù)范圍及額定風量允許波動范圍。

Chase），將潔凈室之循環(huán)風量與外氣空調(diào)箱之補充風量混合，經(jīng)由冷卻盤管（DryCoolingCoil）將回風管道間之回風降溫至凈室要求之規(guī)格，通過循環(huán)風扇（FanFilterUnit或FFU）帶動潔凈室的氣流循環(huán)帶走微塵及熱量，后經(jīng)過超高性能過濾網(wǎng)（Ultra-lowpenetrationair或ULPAFilter）過濾后，供應(yīng)至Fab區(qū)。